Neue Entwicklungen auf dem Gebiet der Nanomess- und Positioniertechnik

Abstract:
Im vorliegenden Beitrag werden neue Entwicklungen des Institutes für Prozessmess- und Sensortechnik auf dem Gebiet der Nanomess- und Positioniertechnik beschrieben. Zu Beginn wird der Versuch unternommen, den Begriff „Präzisionsmechatronik“ zu definieren und Genauigkeitsgrenzen zu analysieren. Neue Anwendungen der Nanomessmaschine, insbesondere für die Mikro-, Nano- und Präzisionstechnik, resultieren aus der Entwicklung von neuartigen nanoskaligen Tastsensoren, die in der Nanomessmaschine nur als Nullindikatoren eingesetzt werden. Entwickelt und erprobt wurden: Fokussensor mit 10 mm Arbeitsabstand, Weißlichtinterferenzsensor, taktiler Tastschnittsensor, Nanoindenter und metrologisches Rasterkraftmikroskop. Weiterhin wurde ein taktiler 3D-Taster der Firma IBS Precision Engineering in die Maschine eingebunden. Messergebnisse, die mit den optischen und taktilen Nanosensoren an Objekten der Mikro- und Nanotechnik gewonnen wurden, werden vorgestellt.