Elektrostatisch angetriebenes Mikroventil in MID-Technik

Conference: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik - 7. GMM/ETG-Fachtagung
06/12/2007 - 06/13/2007 at Augsburg, Deutschland

Proceedings: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik

Pages: 6Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Arnold, M.; Eberhardt, W. (Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institut für Mikroaufbautechnik, Allmandring 9b, 70569 Stuttgart)
Kück, H. (Universität Stuttgart, Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik, Allmandring 9b, 70569 Stuttgart)
Munz, G.; Warkentin, D. (Festo AG & Co. KG, Ruiter Str. 82, 73734 Esslingen)

Abstract:
Mikroventile werden in unterschiedlichsten Anwendungen, wie beispielsweise der Industrieautomation, der Medizintechnik oder der Automobilindustrie eingesetzt. Durch die fortschreitende Miniaturisierung von Ventilen müssen neuartige Fertigungstechnologien erschlossen werden und bisher ungeeignet erscheinenende Aktorprinzipien werden interessant. In diesem Artikel wird deshalb der Lösungsansatz eines elektrostatisch angetriebenen Mikroventils vorgestellt, welches auf Basis der MID-Technologie (Molded Interconnect Device) in Verbindung mit Mikrospritzguss aus einer Minimalanzahl von Bauteilen realisiert wurde.