Oberflächenmikromechanik - Schlüsseltechnologie für Automotive und Consumersensoren

Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe

Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Bischof, Udo (Robert Bosch GmbH, 72703 Reutlingen, Germany)

Abstract:
Der Beitrag beschreibt technologische Trends in Oberflächenmikromechanik zur Herstellung von Sensoren für den Automotive und Consumerbereich. Wesentliche Treiber für den Erfolg dieser Sensoren sind reduzierte Kosten, kleine Baugrösse und erhöhte Funktionalität. Der hohe Kostendruck hat einerseits dazu geführt, dass sich bevorzugt oberflächenmikromechanische Sensoren durchgesetzt haben, andererseits wurden reduzierte Kosten über die Jahre durch kleinere Bauelemente realisiert.