Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8

Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe

Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik

Pages: 7Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F. (Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, 64 283 Darmstadt, Deutschland)

Abstract:
Polymere Mikrosysteme gewinnen vor allem in der Mikrofluidik, zunehmend aber auch in der Mikromechanik an Bedeutung. Hierfür kommt aufgrund seiner besonderen Eigenschaften häufig der Epoxid-basierte Negativresist SU-8 zum Einsatz. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über eine Reihe von Opferschicht-, Belichtungs- und Waferbond- Techniken zur Herstellung freitragender Strukturen aus SU-8, die für diese Anwendungen im Laufe der letzten Jahre vorgestellt wurden und beschreibt im Anschluss ausführlich die Nutzung von unvernetztem SU-8 als Opferschicht bei Verwendung einer vergrabenen metallischen Maske.