Fertigung von Formeinsätzen über die galvanische Replikation von polymeren Mikrobauteilen
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 5Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Manegold, S.; Matthis, B.; Heckele, M. (Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Mikrostrukturtechnik)
Abstract:
Am Institut für Mikrostrukturtechnik werden neue Verfahren zur Herstellung von Formeinsätzen entwickelt. Die Verfahren bestehen hauptsächlich aus der Kombination Verbindungstechnik und Galvanoformung. Mit Mikro-Bauteilen oder Bauteilen mit Mikrostrukturen werden durch galvanische Replikation mikrostrukturierte Formeinsätze aus Nickel gefertigt. Bei diesen Verfahren kommen als verlorene Modelle Mikrobauteile zum Einsatz, die mechanisch, durch Kunststoffabformung oder als direktlithograpisch erzeugte Strukturen hergestellt wurden. Neben einer schnellen und kostengünstigen Formeinsatzherstellung bietet diese Technik neue Möglichkeiten zur Massenfertigung von Bauteilen.