Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer Produkte
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Dietrich, Thomas R. (mikroglas chemtech GmbH, 55129 Mainz, Deutschland)
Abstract:
Im folgenden Artikel soll die Mikrostrukturierung von Glas über nasschemische Ätzprozesse erläutert werden. Hierbei wird gezeigt, dass besonders die photostrukturierbaren Gläser geeignet sind, die benötigten dreidimensionalen Kanalstrukturen für mikrofluidischen Anwendungen in hoher Genauigkeit herzustellen. Als Beispiele werden Produkte aus dem Bereich Chemie und Biotechnologie sowie Tintenstrahldruckköpfe vorgestellt.