Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch Nanoimprint
Conference: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
05/07/2007 - 05/08/2007 at Karlsruhe
Proceedings: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Pages: 6Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd (BESSY GmbH, Anwenderzentrum für Mikrotechnik, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin)
Abstract:
Herkömmliche Abformtechniken eignen sich nur bedingt für die Herstellung von funktionalen Nanostrukturen in polymeren Mikrosystemen. Der Einsatz der Nanoimprint-Technologie mit mikro- und nanostrukturierten Silizium-Formwerkzeugen ermöglicht hingegen die Strukturierung von Polymeren im Submikrometer- und Nanometerbereich. Der Beitrag stellt den technologischen Hintergrund des Nanoimprint-Verfahrens und dessen verschiedenen Variationen kurz dar, präsentiert einen Fertigungsverfahren für geeignete Silizum-Werkzeuge und demonstriert durch verschiedene Beispiele die Eignung der Nanoimprint-Technologie für die Herstellung von nanoskaligen, polymeren Permanent-Strukturen für die optische, fluidische und biotechnologische Anwendung.