Mikromechanischer Kreisel für die Luftfahrt

Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany

Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Geiger, Wolfram; Breng, Uwe; Deppe-Reibold, Olaf; Fuchs, Werner; Gutmann, Walter; Hafen, Martin; Handrich, Eberhard; Huber, Marcel; Kaufmann, Matthias; Kunz, Jürgen; Leinfelder, Peter; Newzella, Alfons; Ohmberger, Ralf; Ruf, Markus; Schröder, Werner; Spahlinger, Günter; Steffe, Volker; Weber, Carsten; Zimmermann, Steffen; Rasch, Andreas (LITEF GmbH, Freiburg i.B., Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag wird ein mikromechanischer Kreisel für Kurs-Lage-Referenzsysteme vorgestellt. Mikrotechnisch gefertigte Kreisel oder Drehratensensoren sind bekannt vor allem aus Anwendungen im Automobilbereich (z.B. Elektronisches Stabilitätsprogramm ESP) und im Konsumerbereich (z.B. Bildstabilisierung). Für diese Anwendungen ist eine Nullpunktstabilität im Bereich von 0,1 Grad/s bis 10 Grad/s erforderlich. Kreisel für Kurs-Lage- Referenzsysteme müssen eine Stabilität von ca. 5 Grad/h besitzen, d.h. zwei bis vier Größenordnungen genauer sein. Vor allem auch durch neue Ansätze bei der Technologie, dem Betriebsverfahren und der Signalverarbeitung konnte diese Genauigkeit mit einem Laboraufbau realisiert werden.