Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Küster, Rolf; Bandorf, Ralf; Lüthje, Holger; Bräuer, Günter (Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, 38108 Braunschweig, Deutschland)
Gatzen, Hans-Heinrich; Neumeister, Claudia (Institut für Mikrotechnologie Universität Hannover, 30823 Garbsen, Deutschland)
Abstract:
Wesentliche Verbesserungen für das Verschleißverhalten von Mikrokomponenten können mit Hilfe ultradünner Beschichtungen erreicht werden. Für den Einsatz in tribologisch belasteten Mikrobauteilen eignen sich insbesondere verschleißarme Hartstoffschichten mit Schichtdicken im Bereich weniger Nanometer. Für Anwendungen in mikroaktorischen Komponenten wurden unterschiedliche dünne Beschichtungen hergestellt und hinsichtlich ihres Verschleißverhaltens überprüft. Schwerpunktmäßig wurden amorphe, wasserstoffhaltige und wasserstofffreie Kohlenstoffschichten charakterisiert. Die vorgestellten Ergebnisse beruhen auf Untersuchungen mit speziell hergestellten Testern und Nanoscratchexperimenten, welche mit Hilfe einer Kombination aus Rastersondenmikroskop und Nanoindentor durchgeführt wurden.