Fabrikation und Integration von mechanisch-optischen Strukturen zur Kopplung von VCSELs mit Glasfasern

Abstract:
Die optische Verbindungstechnik ist eine der großen Triebfedern in der Entwicklung der Nachrichtentechnik und auch zunehmend im Computerbereich. Hauptproblem optischer Verbindungstechnik im Kurzstreckenbereich (board to board, chip to chip) sind derzeit die hohen Kosten sowie das aufwendige Alignment. Ziel des Projekts ist die Entwicklung von passiven Koppelstrukturen, mit denen VCSELs (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) in einem Alignmentschritt an Glasfasern gekoppelt werden. Eine derartige Struktur muss einerseits eine Positionierung der Glasfaser ermöglichen, andererseits auch bestimmte optische Eigenschaften erfüllen, beispielsweise Strahlumlenkung um 90Grad. Mit Hilfe von Tiefenlithographie und Schrägbelichtung wurden Mikrospiegelarrays hergestellt, welche gleichzeitig als Haltestruktur für Glasfasern dienen. Durch geeignete Spritzgussverfahren kann die Struktur auch beliebig vervielfältigt werden und somit die Kosten einer optischen Verbindung deutlich gesenkt werden.