Integrierte Mikrosysteme für die Analytik und minimal invasive Medizin

Abstract:
Besonders erfolgversprechende Anwendungsfelder für die Mikro- und Nanotechnologien sind Mess- und Analysesysteme für die Petrochemie und Gasanalytik, die Prozess- und Umweltmesstechnik sowie die Bio- und Medizintechnik. Solche Mikroanalysesysteme erlauben bei minimalem Platzbedarf hochgenaue und schnelle Messungen bei geringem Proben- und Energiebedarf. Für einen erfolgreichen Einsatz solcher Systeme ist allerdings die durchgängige Nutzung dieser Technologien im System erforderlich, da nur so die Vorteile hoher Integrationsdichte, geringer Herstellungskosten bei hoher Funktionalität erreicht werden. Als Beispiele werden verschiedene Mikroanalysesysteme wie Gaschromatographen, Massenspektrometer und IR-Messsysteme sowie zwei minimal invasive Systeme, eine MR-Sonde sowie ein instrumentiertes Knochenimplantat beschrieben.