Mikromechanische Thermische Sensoren
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Ashauer, Matthias (Hahn-Schickard-Gesellschaft Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen, Deutschland)
Abstract:
Mit thermischen Messprinzipien lassen sich eine Vielzahl von Sensoren realisieren. Es wird ein Überblick über die grundlegenden Wirkprinzipien und Zusammenhänge gegeben. Viele dieser Sensoren lassen sich vorteilhaft mit den Herstellungstechnologien der Mikrosystemtechnik realisieren. Es wird eine Übersicht gegeben über am Markt eingeführte und in Entwicklung befindliche mikromechanische thermische Sensoren.