Thermische detektierte Taupunktsensoren: Ein neues Verfahren zur Bestimmung von Taupunkt und Feuchte
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kunze, Michael; Glosch, Hartmut; Billat, Sophie; Ashauer, Matthias (HSG-IMIT, Wilhelm-Schickard-Straße 10, 78052 Villingen-Schwenningen, Deutschland)
Abstract:
Thermische detektierte Taupunktsensoren: Kernpunkt eines neuen Sensorprinzips ist die Ermittlung der Taupunktstemperatur. Diese wird analog zum Messprinzip des Taupunktspiegels durch Kühlung einer Oberfläche und deren Betauung ermittelt. Für die Detektierung der Betauung wird aber ein völlig neuartiges Prinzip angewendet. Im folgenden werden das grundsätzliche Messprinzip, das mikrotechnische Sensorelement, der Aufbau und die Funktion eines Sensorsystems, sowie die damit erreichten Ergebnisse vorgestellt.