Mikro-Heißstanzen – Erzeugung von Durchlochstrukturen in ebenen Kunststoffsubstraten

Abstract:
Ein gängiges Verfahren zur Replikation von Strukturen in der Mikrotechnik ist das Mikro-Heißprägen. Die Erzeugung von Durchlochstrukturen mit diesem Verfahren ist jedoch schwierig. Das vorgestellte Verfahren des Mikro-Heißstanzens basiert auf dem Mikro-Heißprägen. Es verwendet die gleiche Apparatur aber nicht zum Prägen, sondern zum Stanzen. Dabei wird das Substrat bei geringer Kraft nicht umgeformt, sondern abgeschert. Die Belastung für den mikrostrukturierten Formeinsatz wird dabei wesentlich reduziert. Beim Mikro-Heißstanzen muss keine Gegenform zum ursprünglichen Formeinsatz hergestellt werden, wie bei Stanzverfahren normalerweise üblich. Die inverse Form wird in einem ersten Verfahrensschritt durch Heißprägen erzeugt. Sie entspricht einer exakten inversen Kopie und ist gegenüber dem Werkzeug präzise positioniert. In ersten Versuchsreihen wurden die Auswirkungen von Temperatur und Kraft auf die Qualität der gestanzten Löcher untersucht.