Form- und dimensionstreu sinternde Keramiken: Materialentwicklung und Mikrostrukturierungsverfahren
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Binder, J. R.; Geßwein, H.; Pfrengle, A.; Ritzhaupt-Kleissl, H.-J.; Haußelt, J. (Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Materialforschung III, Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Abstract:
Reaktionssinterverfahren stellen eine Möglichkeit dar, Keramiken form- und dimensionstreu herzustellen. Hierbei hat sich die Verwendung der intermetallischen Verbindungen ZrAl3, ZrSi2 und Zr2Si bewährt. Basierend auf diesen Verbindungen wurden im System Al2O3-SiO2-ZrO2 Keramiken mit unterschiedlichen Eigenschaften hergestellt. Dabei zeichnen sich beispielsweise ZrSiO4-basierte Keramiken durch einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten aus, während im binären Randbereich Al2O3-ZrO2 Keramiken mit Biegefestigkeiten von 780 MPa realisiert werden können. Zur Umsetzung dieser innovativen Materialien in der Mikrosystemtechnik wurden mehrere Mikrostrukturierungsverfahren untersucht und deren Vor- und Nachteile evaluiert.