LIGA – von der Technologieentwicklung zur Fertigungsorganisation

Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany

Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Schulz, Joachim; Meyer, Pascal; Saile, Volker (Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Postfach 36 40, 76021 Karlsruhe, Deutschland)

Abstract:
Das LIGA-Verfahren mit seinen herausragenden Eigenschaften wie extrem glatten Seitenwänden, hohe Strukturtreue für nahezu frei wählbare Geometrien, große Bauteilhöhen und hohen Aspektverhältnissen wird mittlerweile für die Serienproduktion von mikrooptischen und mikromechanischen Bauteilen eingesetzt. Diese Entwicklungen sind auf Grund der Kompetenz und Kontinuität der Aktivitäten des IMT möglich geworden. In der Fertigungsstraße FELIG, die bis 2008 an der Synchrotronstrahlungsquelle ANKA in Karlsruhe errichtet werden soll, werden in konsequenter Fortführung die Prozessschritte weitgehend automatisiert, so dass eine unter Kosten, Durchsatz und Durchlaufzeit optimierte Serienfertigung von Mikrobauteilen nach dem LIGA-Verfahren ermöglicht wird.