Entwicklung und Vergleich auf Leiterplattentechnologie basierender statischer Mikromischer
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Götze, Holger; Gassmann, Steffan; Pagel, Lienhard (Universität Rostock, Institut für Gerätesysteme und Schaltungstechnik, Albert-Einstein Str. 2, 18059 Rostock, Deutschland)
Abstract:
Wir präsentieren zwei neuartige statische Mikromischer, die auf Leiterplattentechnologie basieren und beschreiben den Entwicklungs- und Herstellungsprozess, sowie deren besondere Eigenschaften. Es wird gezeigt, dass der Einsatz von PCB-Technologie (Printed Circuit Board) für die Fertigung von Mikrosystemen eine besonders kostengünstige, aber dennoch hochwertige Alternative zu den teuren und aufwendigen Verfahren der Siliziummikromechanik und LIGA-Technik darstellt. Dabei wurde besonders auf den Erhalt der Kompatibilität zu der Technologie geachtet [1-3].