Dosierung von Flüssigkeiten im Pikoliterbereich
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Weise, Frank; Burgold, J.; Dressler, L.; Wurmus, H.; Ambacher, O. (Technische Universität Ilmenau, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, G.-Kirchoff-Str. 7, 98693 Ilmenau, Deutschland)
Abstract:
In diesem Beitrag wird ein flexibles Mikrodosiersystem zur kontaktfreien Abgabe von Flüssigkeiten im Piko- bis Nanoliterbereich vorgestellt. Der Vorteil bei diesem System ist, dass man die Dosierchips sehr einfach auszuwechseln und um so schnell auf verschiedene Anwendungsfälle reagieren zu können. Das System ist so ausgelegt, dass es sowohl im „Drop on Demand“-Modus als auch im „Continuous Jet“-Modus verwendet werden kann. Die Dosierchips bestehen aus Silizium und wurden mit mikrotechnischen Verfahren hergestellt.