3D-Mikrotaster für Anwendungen in der Wegmesstechnik

Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany

Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Phataralaoha, A.; Triltsch, U.; Büttgenbach, S. (Institut für Mikrotechnik (IMT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, Deutschland)
Seitz, K.; Roth, R. (Carl Zeiss, Oberkochen, Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag wird ein miniaturisierter mechanischer 3D-Tastsensor aus Silizium vorgestellt, der an Koordinatenmessgeräten (KMG) im scannenden Betrieb zum Einsatz kommen soll. Das Sensorelement besteht aus einer mit mikrotechnischen Herstellungsverfahren gefertigten Silizium-Bossmembran und Piezowiderständen. Die Charakterisierungen des neuen Tasterdesigns zeigen ein deutlich geringes Steifigkeitsverhältnis und eine Reduzierung der Antastkraft um 50% im Vergleich zu dem vorherigen Design.