Drucksensor im MID-Gehäuse
Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany
Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Krause, J. (HARTING Mitronics AG, Leugenestr. 10, 2500 Biel, Schweiz)
Bloch, H. (Aktiv Sensor GmbH, Ruhlsdorfer Str.95, 14532 Stahnsdorf, Deutschland)
Abstract:
In diesem Paper wird das Konzept eines integrierten Drucksensorgehäuses vorgestellt. Das Packaging-Konzept erlaubt universelle Anwendungen. Es kann mit verschiedenen Chip-Sensor Kombinationen bestückt werden. Über das Bondschema sind unterschiedliche Außenbeschaltungen realisierbar. Das Gehäuselayout unterstützt den Aufbau sowohl für Absolut- als auch für Differenzdruckmessung. Für den Kunden entstehen eine Vielzahl von SMT-fähigen Sensorvarianten, die bei gleichem Formfaktor und Footprint für unterschiedliche Anwendungen einsetzbar sind.