Wieder entfernbarer Negativresist für die Mikrosystemtechnik

Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany

Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Schirmer, Matthias (Allresist GmbH, Strausberg, Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag wird der neu entwickelte Negativresist CAR 44 für die Mikrosystemtechnik vorgestellt. Der CAR 44 verfügt über ähnliche Eigenschaften wie der SU-8, besitzt jedoch darüber hinaus bedeutende Vorteile. Hervorzuheben ist vor allem die leichte Entfernbarkeit der vernetzten Strukturen. Damit eröffnen sich völlig neue Anwendungsmöglichkeiten in der Mikrosystemtechnik.