Vollständige Prozesskette zur Herstellung von Nickel- Formeinsätzen auf Basis von 6 Zoll Si-Wafern mit Hilfe der UVLithographie und des Resistsystems EPON SU-8

Abstract:
Die Prozesskette zur Herstellung von Nickel-Formeinsätzen für das Heißprägen oder Spritzgießen basiert auf 6 Zoll Si-Wafern, die durch UV-Lithographie mit dem Resist EPON SU-8 strukturiert und anschließend mit Ni galvanisiert werden. Das Strippen des hochvernetzten SU-8 erfolgt durch Laserablation, deren Prozessführung zusammen mit der Fraunhofergesellschaft-ILT entwickelt wurde. Die Spezifikationen der Formeinsätze orientieren sich an einer im Auftrag des Forschungszentrums Karlsruhe durchgeführten Marktstudie aus dem Jahr 2004/2004. Die Herstellungslinie wurde anhand von Referenzprodukten für Anwendungen in den Bereichen Mikrofluidik/Elektrophorese und Mikrooptik/ Wellenleiter erprobt.