Vereinfachtes Handling von Substraten in der Mikrogalvanoformung und der Ätztechnik

Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany

Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Guttmann, Markus; Bade, Klaus; Matthis, Barbara (Institut für Mikrostrukturtechnik, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, PF 3640, 76021 Karlsruhe, Deutschland)
Moritz, Hans (silicet AG, Lindenbergstr. 30, 34253 Lohfelden, Deutschland)

Abstract:
In diesem Beitrag wird der Aufbau und der Einsatz der neu entwickelten, kommerziell erhältlichen Halterungstechnik für die Mikrogalvanoformung vorgestellt, bei der das Halten der Substrate mittels Vakuumansaugung erfolgt. Zudem werden Ergebnisse von Untersuchungen präsentiert, die im Hinblick auf die Schichtdickenhomogenität und den Einfluss der inneren Spannungen auf die Durchbiegung der Substrate bei der Mikrogalvanoformung mit dem neuen Haltersystem durchgeführt wurden.