Dynamische Modellierung von mikrostrukturierten Halbleitergassensoren

Conference: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10/10/2005 - 10/12/2005 at Munich, Germany

Proceedings: Mikrosystemtechnik Kongress 2005

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Herm, S.; Peter, A.; Ament, Ch. (Lehrstuhl für Systemtheorie, IMTEK - Institut für Mikrosystemtechnik, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)

Abstract:
In dem folgenden Beitrag wird ein Modell eines SnO2-Halbleitergassesnsors vorgestellt, das es ermöglicht, das dynamische Verhalten des Sensorleitwerts in Abhängigkeit der Sensortemperatur und der Luftsauerstoffkonzentration zu beschreiben. Es lässt sich einfach auf zu messende Gase erweitern und soll als Basis für eine modellbasierte Schätzung der Einzelkonzentrationen in einem Gasgemisch mit Hilfe von temperaturmodulierten Einzelsensoren dienen.