Fertigung eines Miniaturkraftsensors mit asymmetrischem Grundkörper zur Anwendung bei Katheterisierungen
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Meiß, Thorsten; Kern, Thorsten A.; Klages, Stephanie; Werthschützky, Roland (Technische Universität Darmstadt, Darmstadt, Deutschland)
Bartuch, Herbert (CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH, Erfurt, Deutschland)
Abstract:
Im Rahmen des Hapcath -haptischer Katheter- Projektes werden miniaturisierte Silizium-Kraftsensoren mit einer Größe von 200·220·640 Mikrometer3 entwickelt. Sie dienen dazu die bei Katheterisierungen an der Führungsdrahtspitze auftretenden Kräfte zu messen. Diese Veröffentlichung beschreibt die Herstellung eines piezoresistiven Kraftmesselementes mit asymmetrischem Grundkörper mittels Ionenimplantation zur Erzeugung der Widerstände sowie anisotropen nasschemischen Ätzen und einem nachfolgenden zweistufigen Sägeprozesses zur mechanischen Strukturgebung.