Metall-Kapillardruckgießen und Dampfphasen- Schmelzinfiltration: zwei innovative Verfahren für das Herstellen metallischer Mikrobauteile

Abstract:
Industriell gefertigte metallische Mikrobauteile unterliegen technischen Grenzen: ihre geometrischen Abmessungen können nur bis zu einem gewissen Maß verringert werden und/oder für ihre Herstellung steht verfahrensbedingt eine Werkstoffpalette zur Verfügung, die für Mikrobauteile nur bestimmte Einsatzbereiche zulässt. Da sich die Mikrosystemtechnik – als weltweit anerkannte Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts – immer weiterentwickeln wird, wächst zwangsläufig auch der Bedarf an metallischen Mikrobauteilen, deren Eigenschaften über die der gegenwärtig industriell verfügbaren hinausgehen. Mit zwei Urformverfahren, welche vom Institut für Werkstoffkunde entwickelt wurden, ist das Herstellen solcher Bauteile möglich: dem Metall- Kapillardruckgießen und der Dampfphasen-Schmelzinfiltration. Im Rahmen dieses Beitrags werden die beiden Verfahren vorgestellt und deren Leistungsfähigkeiten aufgezeigt. Zudem soll ein Überblick darüber gegeben werden, wie weit die Verfahren, im Hinblick auf die Umsetzung als industrierelevante Fertigungstechniken, fortgeschritten sind.