Tunnelmagnetoresistive Materialien für Anwendungen in der Sensorik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Paul, Johannes; Gerken, Anna (Sensitec GmbH, 55131 Mainz, Deutschland)
Abstract:
Magnetoresistive Sensoren, kurz MR-Sensoren, eignen sich zur Messung von Magnetfeldern, da ihr elektrischer Widerstand von Betrag und Richtung eines äußeren Magnetfeldes abhängt. Sensoren, die auf dem tunnelmagnetoresistiven Effekt (TMR) basieren, grenzen sich aufgrund ihrer Dimension und der Größe des MREffektes von Sensoren ab, die den AMR- oder GMR- Effekt (anisotroper bzw. gigantischer magnetoresistiver Effekt) nutzen. Diese Besonderheiten können in innovative Produkte münden, z.B. Arrays von Pixelsensoren für bildgebende Verfahren oder Drehgeber in Fahrzeugen in bisher unzugänglichen Temperaturbereichen.