Entwicklung eines magnetostriktiven Mikroaktors

Abstract:
Vorgestellt wird die Entwicklung eines Mikroaktors basierend auf dem magnetostriktiven Effekt. Es wird ein freischwingender Biegebalken (Cantilever) mit einem Schichtaufbau aus SiO2, Cr und dem magnetostriktiven Material Fe49Co49V2 hergestellt. Ein definiertes Magnetfeld regt den Cantilever zur Biegung an. Die Problematik des Schichtaufbaus aufgrund innerer Spannungen und die Einstellung der leichten magnetischen Achse in der ferromagnetischen Schicht werden erläutert. Die mechanische Resonanzfrequenz konnte zu 1,81 kHz mit einer Abweichung von 4% gegenüber der analytischen Lösung gemessen werden. Die Sättigungsmagnetostriktion der aktiven Schicht wurde zu λ S = 52·10(exp-6) bestimmt. Nächster Entwicklungsschritt wird die Integration einer On- Chip-Spule zur Magnetfelderzeugung sein.