Resonante mikromechanische Energiewandler
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kuehne, Ingo; Frey, Alexander; Marinkovic, Djordje; Eckstein, Gerald (Siemens AG, Corporate Technology, München, Deutschland)
Seidel, Helmut (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik / Mikroaktorik, Saarbrücken, Deutschland)
Abstract:
Im vorliegenden Beitrag werden zwei resonante mikromechanische Energiewandler vorgestellt. Diese Generatoren wurden als mikromechanische Masse-Feder-Systeme realisiert und sind in der Lage mechanische Vibrationen in elektrische Energie zu wandeln. Der piezoelektrische MEMS-Energiewandler besteht im Wesentlichen aus einer massebeaufschlagten piezoelektrischen Membran. Es werden elektrische Ausgangsleistungen von bis zu 10 myW für Vibrationen im Bereich von 200 Hz bis 600 Hz erreicht. Der kapazitive mikromechanische Energiewandler basiert auf einem geladenen variablen Plattenkondensator. Die hierbei erzielten elektrischen Ausgangsleistungen betragen wenige myW bei typischen Vibrationen im Bereich einiger kHz.