Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik

Abstract:
Der Trend zu immer komplexeren Systemen schreitet ungebrochen voran und eröffnet der Mikrosystemtechnik (MST) eine Vielzahl neuer Einsatzgebiete. Auch in Zukunft wird die MST eine entscheidende Rolle in der Entwicklung von modernen und innovativen Produkten spielen. Aber bereits heute ist absehbar, dass vorhandene Technologien, Prozesse und Materialien an ihre technologischen Grenzen stoßen werden oder das sie für neue Anwendungen teilweise oder gar nicht geeignet sind. Neue innovative Ansätze sind frühzeitig und systematisch zu untersuchen und weiter zu entwickeln. Dabei wird die Mikro-Nano-Integration die Schlüsselfunktion zur Realisierung von zukünftigen Systemlösungen einnehmen. Sie schafft wesentliche Voraussetzungen, um damit einhergehende Integrations- und Miniaturisierungsanforderung zu erfüllen. Im vorliegenden Beitrag wird ein Überblick zu Prozessen und Materialien für die Mikro-Nano-Integration (MNI) gegeben.