Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-Verfahrens
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Kouba, J.; Rudolph, I.; Waberski, Ch.; Scheunemann, H.-U.; Löchel, B. (BESSY GmbH, Anwenderzentrum für Mikrotechnik, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin, Germany)
Voigt, A.; Heinrich, M.; Gruetzner, G. (micro resist technology GmbH, Köpenicker Str. 325, Haus 211, 12555 Berlin, Germany)
Götz, F.; Lilienhof, H.-J.; Stockhofe, Ch.; Hollmann, H. (Fachhochschule Gelsenkirchen, Neidenburger Str. 43, 45877 Gelsenkirchen, Germany)
Abstract:
Der Beitrag fasst die wesentlichen Ergebnisse des Verbundprojektes „Entwicklung einer kostengünstigen Herstellungsmethode für die Fertigung von Röntgenmasken zur Herstellung hochpräziser mikrotechnischer Bauteile mit der Direkt-LIGA Technik“ zusammen. Im Rahmen dieses Projektes werden neuartige planare Mikropumpen für BioChip Anwendungen mit Hilfe der Direkt LIGA Technik hergestellt. Die wesentlichen Ziele des Projektes beinhalteten die Entwicklung eines präzisen und kostengünstigen Herstellungsprozesses für die Fertigung der benötigten Röntgenmasken, die Entwicklung eines neuen, für die Fertigung der Röntgenmaske geeigneten Photoresists und die Entwicklung und die Charakterisierung der damit gefertigten Mikropumpen. Die Arbeiten wurden vom BMWi, AiF, PRO INNO II gefördert.