Ableitung mikrotechnischer Prozessfolgen aus Funktionsbausteinen

Abstract:
Dieser Beitrag beschreibt eine Entwicklungsumgebung für Mikrosysteme, deren zentrales Element eine Datenbank ist, welche Funktionsbausteine vorhält. Die Besonderheit des Systems ist, dass solche Bausteine neben einem parametrisierten geometrischen Modell auch mögliche Fertigungsabläufe enthalten. Somit ermöglicht das System die Nutzung von neuen Materialien und Technologien in der Prozesskette, ohne dass der Anwender Detailkenntnisse über alle einzelnen Technologien benötigt. Nach einer Einführung in die von uns erarbeitete Entwurfsmethode wird sich dieser Beitrag auf das Generieren fertigungsgerechter Prozessfolgen aus den ausgewählten Bausteinen konzentrieren. Der verwendete Algorithmus wird an einem Beispiel schrittweise beschrieben, um die besonderen Herausforderungen dieses Vorgehens zu verdeutlichen.