Galvanische Abformung von mikro- und nanostrukturiertem Silizium für die Herstellung metallischer Formwerkzeuge

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Rudolph, Ivo; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd (BESSY GmbH, Anwenderzentrum für Mikrotechnik, Berlin, Deutschland)

Abstract:
Die thermische Nanoimprint-Technologie nutzt mikro- und nanostrukturierte Form- bzw. Stempelwerkzeuge für die Herstellung von polymeren Submikrometerstrukturen, die immer häufiger als funktionale Komponenten in Mikrosystemen eingesetzt werden. Das hier vorgestellte Verfahren nutzt mikro- und nanostrukturiertes Silizium und einen optimierten Galvanik-Prozess, um metallische Formwerkzeuge aus Nickel mit Strukturen im Mikround Nanometerbereich herzustellen. Neben der Charakterisierung des Schichtwachstums in Nanokavitäten während der galvanischen Abscheidung wird die erfolgreiche Herstellung von Nickelstrukturen im Sub-100 nm- Bereich durch verschiedene Beispiele dargestellt.