Entwicklung eines elektronenstrahlbasierten MikroProduktionsZentrums

Abstract:
Im Rahmen des BMBF-Projektes „MikroProdZ“ wurde dem Bedarf nach Mikroproduktionsmaschinen, die unter Reinraumbedingungen unterschiedlichste Fertigungsprozesse wie z.B. Strukturieren, Bohren, Trennen, Schweißen und Löten – aber auch Prüfprozesse – mit einer Anlagentechnik durchführen, Rechnung getragen. In diesem Projekt wurde ein elektronenstrahlbasiertes MikroProduktionsZentrum entwickelt, und als Prototyp aufgebaut. Aufgrund der Verwendung des Elektronenstrahls können auch strenge Forderungen nach sehr lokaler Wärmeinbringung, hoher Fertigungsgenauigkeit, Fertigung im Vakuum usw. mit sehr hohen Prozessgeschwindigkeiten erfüllt werden. Der systemimmanente Bildaufnahmemodus („REM-Modus“) erlaubt eine laterale Auflösung von 1 µm. So lassen sich durch Rückkopplung mit den Handhabungssystemen sehr hohe Positioniergenauigkeiten erreichen. Mit dieser Auflösung überwacht weiterhin ein integriertes Qualitätssicherungssystem vor der Bearbeitung die Bauteilpositionierung und –justage und kontrolliert nach der Bearbeitung das Ergebnis. Da der Elektronenstrahl weiterhin auch für Prozesse wie Löten, Strukturieren und Trennen eingesetzt werden kann, können Fertigungsaufgaben gelöst werden, die bisher nur in verschiedenen Anlagen bzw. überhaupt nicht zu lösen waren.