Nasschemisches Ätzen ultra-dünner Gläser als Substratmaterial für miniaturisierte Bauelemente

Abstract:
Momentan werden Dünngläser hauptsächlich im Bereich der Displaytechnologie eingesetzt (z. B. für Plasmabildschirme), da sie ein geringes Gewicht und exzellente optische Eigenschaften im sichtbaren Spektrum aufweisen. Die Motivation, das Anwendungsgebiet ultra-dünne Gläser auf die Herstellung miniaturisierter Bauelemente zu erweitern, liegt darin begründet, dass diese Substrate zudem auf Grund der geringen Dicken bis 30 µm eine hohe mechanische Flexibilität besitzen. Mögliche Einsatzgebiete für strukturierte Dünngläser sind folglich Bauelemente aus dem Bereich der Mikrofluidik oder der Medizintechnik, die zudem optischen Zugang über das Substrat benötigen.