Electro Wetting - Transport von Mikrotropfen auf lithographisch hergestellten, ultra-hydrophoben Oberflächen

Abstract:
Die Herstellung hydrophober Oberflächen ist die Schlüsseltechnologie für die Realisierung von auf Tropfen basierenden Mikrosystemen. Mit Hilfe spezieller Verfahren haben wir verschiedene hydrophobe und ultrahydrophobe Oberflächen entwickelt, welche aus glatten oder rauen Metalldünnschichten oder aus einer Art Sandwichstruktur bestehen. Diese umfassen lithographisch prozessierte Resiststrukturen, metallische Dünnschichten und self assembled monolayer (SAM). Solche Oberflächen bilden die Basis zur Realisierung von auf dem Prinzip des Electro Wettings funktionierenden Mikrochips, zu deren Herstellung hier die ersten Ergebnisse dargestellt werden.