Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Loechel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph; Rudolph, Ivo; Kutz, Oliver; Mucha, Sebastian; Schondelmaier, Daniel; Scheunemann, Heinz-Ulrich (BESSY GmbH, Anwenderzentrum für Mikrotechnik, Berlin, Deutschland)
Abstract:
Seit seiner Entwicklung Mitte der 80er Jahre des vergangenen Jahrhunderts ist das LIGA-Verfahren als mikrotechnische Herstellungsmethode bekannt. Es zeichnet sich vor allem dadurch aus, dass extrem hohe Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen in höchster Präzision hergestellt werden können. Neue Entwicklungen der letzten Jahre wie das Direkt-LIGA-Verfahren haben LIGA flexibler und kostengünstiger und damit für industrielle Anwendungen interessanter gemacht.