Permanentmagnetische Membranen für μ-fluidische Aktorik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 3Language: germanTyp: PDF
Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title
Authors:
Morschhauser, Andreas; Nestler, Jörg; Voigt, Sebastian; Gessner, Thomas (Zentrum für Mikrotechnologien, Technische Universität Chemnitz)
Schüller, Martin; Otto, Thomas (Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM), Chemnitz)
Abstract:
Im Bereich der Vor-Ort-Diagnostik besteht für die Mikrofluidik die Aufgabe, kleinste Flüssigkeitsvolumina zu manipulieren, d.h. zu transportieren, zu mischen oder zu filtern. Für diese Problemstellungen existieren verschiedenste Herangehensweisen, welche sich merklich im Integrationsgrad der zum Einsatz kommenden aktiven (aktorischen) Komponenten unterscheiden. Im vorgestellten Beitrag soll ein voll integrierbarer Aktor auf Basis einer permanentmagnetischen Membran vorgestellt werden. Es werden die notwendigen Schritte zur Erzeugung solcher Membranen und exemplarisch die Komponenten für eine preisgünstige Membranpumpe näher betrachtet.