Optimierung der Kavitätenverformung von Mikroplasma- Stempeln zur selektiven Behandlung von Oberflächen bei Atmosphärendruck
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Lucas, N.; Büttgenbach, S. (Institut für Mikrotechnik, Technische Universität Braunschweig, Deutschland)
Hinze, A.; Klages, C.-P. (Institut für Oberflächentechnik, Technische Universität Braunschweig, Deutschland)
Abstract:
Im Rahmen dieser Arbeit werden Mikroplasma-Stempel zur selektiven Modifizierung von Oberflächen vorgestellt, die auf dem Prinzip der dielektrisch behinderten Entladung bei Atmosphärendruck basieren. Das Plasma wird dabei in geschlossenen Kavitäten erzeugt, die sich durch Anpressen zwischen dem Mikroplasma-Stempel und dem zu behandelnden Substrat ausbilden. Die Verformung der Kavitäten aufgrund der Anpresskraft wurde simuliert; einige Ergebnisse dieser Rechnungen werden hier dargestellt. Des Weiteren wird der Einfluss der Verformungen auf die benötigten Zündspannungen untersucht und es werden Möglichkeiten zur Optimierung des Designs aufgezeigt.