Charakterisierung mikrooptischer Abstandssensoren aus einer Versuchsfertigung - Beurteilung der Bauteil- und Montagetoleranzen -

Abstract:
Im Rahmen des geförderten Projekts „Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren (μ- FEMOS)“ wurden mikrooptische Abstandssensoren entwickelt und in einer Versuchsfertigung hergestellt. Basis war hierbei eine mikrooptische Bank, die durch das LIGA – Verfahren hergestellt wurde und eine passive Montage weiterer mikrooptischer Komponenten erlaubt. Ein modularer Aufbau ermöglicht die getrennte Herstellung einer elektro-optischen Platine mit aktiven Mikrokomponenten. Durch klare Schnittstellendefinitionen wurde die Montage vereinfacht und die Möglichkeit einer verteilten Fertigung aufgezeigt. Mehrere Klein- und Mittelstandsbetriebe ließen sich mit ihrem speziellen Know-How in die Herstellung des Sensors einbinden. Die Charakterisierung erfolgte an einer statistisch relevanten Anzahl von Sensoren, die in der Prototypserie als funktionsfähige Abstandssensoren nach einer direktlithographischen Strukturierung aufgebaut wurden. Die Ergebnisse werden in dieser Veröffentlichung dargestellt.