Fehlerlokalisierung und Ermittlung von Geometrie- und Materialparametern mikromechanischer Systeme mittels dynamischer Messverfahren zu frühen Produktionsschritten
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Gerbach, Ronny; Naumann, Falk; Ebert, Matthias; Bagdahn, Jörg (Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik, Walter-Hülse-Straße 1, 06120 Halle, Deutschland)
Abstract:
Die Durchführung von Qualitätsbewertungsverfahren an mikromechanischen Systemen ist ein wichtiges Element für die Kostenreduzierung während der Herstellung von Mikrosystemen. In diesem Beitrag werden Verfahren für eine zerstörungsfreie Ermittlung von Geometrie- und Materialparametern sowie fehlerhafter mikromechanischer Bauteile vorgestellt, die auf dynamischen Messungen mittels Laser-Doppler-Vibrometrie und numerischen Simulationen basieren. Es werden experimentelle und numerische Untersuchungen an Siliziummembranstrukturen vorgestellt.