Planar-integrierte mikrofluidische Versuchskammer mit elektroakustischer Strömungserzeugung für biologische Untersuchungen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 3Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Gruber, Matthias; Heming, Richard; Schnäker, Eva-Maria; Seiler, Thomas (Optische Mikrosysteme, FernUniversität in Hagen, Deutschland)

Abstract:
Vorgestellt wird eine mikrofluidische Versuchskammer, in der kleine Flüssigkeitsmengen in einem ringförmig geschlossenen Kanal kontrolliert in Strömung versetzt werden können. Die Strömungserzeugung erfolgt elektroakustisch auf der Basis von hochfrequenten Oberflächenwellen (SAW), welche mit Hilfe eines Interdigital- Transducers auf einem 128grad-y-orientierten LiNbO3-Wafer angeregt werden. Das gesamte Mikrosystem ist sandwichartig aus planaren Komponenten aufgebaut und kompatibel mit planaren Fertigungstechnologien. Dies ermöglicht insbesondere die Integration von planarer Mikrooptik, z.B. für Beleuchtungszwecke. Die Kapselung des Systems in einem temperaturstabilisierten Gehäuse ermöglicht (mikro)biologische Untersuchungen unter definierten Umweltbedingungen. Der praktische Einsatz der Mikropumpe wird demonstriert.