Untersuchung des Einflusses der Polschuhneigung und Materialeigenschaften auf das Bewegungsverhalten von elektromagnetischen Aktoren

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Schonhardt, S.; Gruschke, O.; Müller, C.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U. (Universität Freiburg – IMTEK, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, Freiburg im Breisgau, Deutschland)
Hollenbach, U.; Mohr, J.; Bade, K. (Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Mikrostrukturtechnik, Karlsruhe, Deutschland)

Abstract:
Elektromagnetische Linearaktoren zeigen, wie auch elektrostatische Aktoren, ein designabhängiges nichtlineares Schaltverhalten in Abhängigkeit der Polschuhkonfiguration. Es werden drei grundlegende Polschuhgeometrien klassifiziert und für diese ein einfaches Stabilitätskriterium abgeleitet. Ferromagnetische Aktormaterialien werden in Abhängigkeit von galvanischen Abscheidebedingungen in einem Messaufbau magnetisch und mechanisch charakterisiert und in einer Simulation zur Verifikation des Bewegungsverhaltens der unterschiedlichen Aktortypen verwendet.