Optimierung der dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Klose, Thomas; Wolter, Alexander; Sandner, Thilo; Schenk, Harald (Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme, Dresden, Germany)
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Optimierung (Minimierung) der trägheitsbedingten dynamischen Deformation von Mikroscannerspiegeln vorgestellt. Grundlage dafür bilden vereinfachte, parametrisierte Finite-Elemente-Modelle. Die Optimierung wird mithilfe des am Fraunhofer IIS-EAS (Institut für integrierte Schaltungen, Institutsteil Entwurfsautomatisierung in Dresden) entwickelten Optimierungs-Systems MOSCITO durchgeführt. Für ein betrachtetes Beispiel – einen resonanten Mikroscanner mit einem Spiegeldurchmesser D = 1mm und einer Schwingfrequenz von 17.5 kHz – kann eine Verringerung der dynamischen Deformation um ca. 80% erreicht werden. Das resultierende Bauelement ist zur Realisierung eines Laser-Projektors mit VGA-Auflösung auf Basis des Flying-Spot-Prinzips geeignet.