Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren Bereich

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Kouba, J.; Eberhardt, W.; Loechel, B. (BESSY GmbH, Anwenderzentrum für Mikrotechnik, Albert Einstein Str.15, 12489 Berlin, Germany)

Abstract:
Der Beitrag fasst die Ergebnisse unserer Arbeiten auf dem Feld der 2-dimensionalen photonischen Kristalle für den sichtbaren Wellenlängenbereich zusammen. Gegenstand der Untersuchung waren membranartige siliziumnitrid- basierende 2-dimensionale photonische Kristalle mit hexagonalen und quadratischen Lochgittern. Untersucht wurden der Einfluss der Geometrieparameter wie Gitterkonstante, Lochradius und Membrandicke auf die optischen Eigenschaften, insbesondere auf die Bandlücke und auf das Auftreten der Stoppbänder im sichtbaren Wellenlängenbereich. Durch Variation der geometrischen Parameter konnten Bandlücken im gesamten vom Siliziumnitrid erfassten sichtbaren Spektralbereich nachgewiesen werden. Aufbauend auf diesen Ergebnissen wurden bestimmte Linien- und Punktdefekte in den photonischen Kristallen untersucht, durch deren Einbau es möglich ist, photonische Bauelemente wie Filter oder Resonatoren auf Wellenlängenskala zu realisieren. Der Beitrag fasst alle Schritte der Prozesskette zusammen. Angesprochen werden das elementare Design der photonischen Kristalle inklusive der Simulation, die Probenherstellung und die spektroskopische Untersuchung der Proben.