Neuartiger MST Ansatz zur Realisierung kostengünstiger Systeme zum "Hyperspectral Imaging" im NIR

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

Personal VDE Members are entitled to a 10% discount on this title

Authors:
Egloff, Thomas; Grüger, Heinrich; Zimmer, Fabian; Schenk, Harald; Scholles, Michael; Lakner, Hubert (Fraunhofer IPMS, Maria-Reiche-Str. 2, 01109 Dresden, Germany)

Abstract:
"NIR Hyperspectral Imaging" kombiniert die Vorteile von digitaler Fotografie, die eine Erkennung von Objekten ermöglicht, mit denen der Molekülspektroskopie, die eine detaillierte Analyse der Stoffe zulässt. Häufig sind die dazu nötigen Systeme als Pushbroom Scanner ausgeführt, die parallel einen linienförmigen Objektbereich erfassen, während die zweite Ortsrichtung sequentiell gescannt wird. Die hierzu notwendigen NIR tauglichen 2D-Detektorarrays sind sehr teuer, wodurch ein breiter Markteinsatz bislang verhindert wird. Ein neuer Ansatz, der als Basis einen Mikromechanischen Scannerspiegel enthält, auf dessen Oberfläche ein diffraktives Gitter strukturiert ist, wurde entwickelt. Die Mikrosystemtechnik hilft, durch Verwendung eines entsprechenden Zeilendetektors, ein kostengünstigeres System zu realisieren. In Kombination mit einem neuen reflektiven optischen Systemansatz, konnte außerdem die Leistungsfähigkeit von ortsauflösenden NIR-Spektrometern deutlich verbessert werden.