MEMS Mikrospiegelarrays für die Adaptive Optik
Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden
Proceedings: MikroSystemTechnik
Pages: 4Language: germanTyp: PDF
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Authors:
Gehner, Andreas; Wildenhain, Michael; Knobbe, Jens; Wagner, Michael (Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme, Maria-Reiche-Str. 2, 01109 Dresden, Germany)
Abstract:
Für die hochauflösende optische Phasenkontrolle wurde am IPMS ein feinsegmentiertes MEMS Mikrospiegelarray mit 240 x 200 individuell ansteuerbaren Senkspiegeln entwickelt, die einzeln bis zu 500 nm ausgelenkt werden können. Die Bauelemente werden dabei als komplettes Lichtmodulator-System mit zugehöriger Treiberelektronik und Daten-Interface bereitgestellt. Erste erfolgreiche Anwendungs-Demonstrationen finden sich im Bereich der Aberrationskorrektur am menschlichen Auge sowie bei der zeitlichen Laserpuls-Formung. Für Demonstrationszwecke sowie zur weiteren quantitativen Untersuchung der Wellenfront-Korrektureigenschaften wurde außerdem ein eigener adaptiv-optischer Systemaufbau realisiert.