Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen

Conference: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
10/15/2007 - 10/17/2007 at Dresden

Proceedings: MikroSystemTechnik

Pages: 4Language: germanTyp: PDF

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Authors:
Wagner, Michael; Dürr, Peter; Dauderstädt, Ulrike; Gehner, Andreas; Friedrichs, Martin; Schmidt, Jan-Uwe; Lakner, Hubert (Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme (IPMS), Maria-Reiche-Str. 2, 01109 Dresden (Germany))

Abstract:
Am Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden werden anwendungsspezifische Flächenlichtmodulatoren (Spatial Light Modulators, SLM) auf Basis von hochintegrierten Mikrospiegelarrays entwickelt und in Pilotfertigung hergestellt. Die IPMS-Mikrospiegelmatrizen bestehen je nach Anwendung aus bis zu einer Million einzeln analog adressierbarer Spiegel. Sie können mit einer Bildrate von bis zu 2 kHz betrieben werden. Derart hohe Spiegelanzahlen erfordern monolithische oder heterogene Höchstintegration von Ansteuerelektronik und Aktuatorik. Kippspiegel und Senkspiegel definieren zwei grundlegende Aktuatorkategorien. Derzeitiges Hauptanwendungsgebiet der IPMS-Kippspiegelbauelemente ist der Einsatz als hochdynamische programmierbare Maske für die DUV-Lithographie; die feinsegmentierten Senkspiegelmatrizen finden Anwendung in der adaptiv-optischen Phasensteuerung, z.B. zur Korrektur optischer Abbildungsvorgänge.