Authors:
Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Baumgarten, Judith; Fritscher, Andreas; Brenner, Stephan; Lenk, Simone; Damnik, Steffen; Rolle, Martin; Zeltner, Johannes; Schmidt, Christian; Muetze, Josephine; Schlebusch, Dirk; Fehse, Karsten; Toerker, Michael; Schuster, Florian; Vogel, Uwe
Conference:
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress