Kick & Catch: elektrostatisches Rotieren einer Kugel

Abstract:
In diesem Beitrag wird das Design, die Prozessierung und die Charakterisierung eines elektrostatischen Mikroaktors vorgestellt, der eine aufliegende Kugel in eine Freiflugphase beschleunigt und dabei um einenWinkel rotiert. Hierbei wird der elektrostatische Pull-In Effekt, sowie eine Kraftübertragung über einen zweiseitigen mechanischen Hebel ausgenutzt. Ziel ist es, eine Kugel in beliebige Richtungen um einen beliebigen Winkel zu drehen. Dies ist mit Festkörpergelenken, die in MEMS üblicherweise verwendet werden, nicht realisierbar. Im Gegensatz zu Stick-Slip-Antrieben wird hier eine kontaktlose Phase angestrebt.